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Das Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT) arbeitet an der Entwicklung neuartiger Mikro- und Nanostrukturen. Zur zentralen Geräteausstattung gehört der in 2007 in Betrieb genommene Elektronenstrahlschreiber, mit dem Nanostrukturen mit bisher nicht erreichter Präzision hergestellt werden können.
26.02.2015
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